河北标准气体诚信企业 新桦工业气体生产厂家

特种气体在LED中的应用

特种气体是光电子、微电子等领域，特别是在超大的规模集成电路、液晶显示器件、非晶硅薄膜太阳能电池、半导体发光器件和半导体材料制造过程不可缺少的基硅性支撑源材料。它的纯度和洁净度直接影响到光电子、微电子元器件的质量、集成度、特定技术指标和成品率，并且从根本上制约着电路和器件的性和准确性。

半导体工业用气体品种多、质量要求高、用量少，大部分是有毒或腐蚀性气体。品种高达百余种。半导体工业特种气体应用分类，主要包括：

1. 硅族气体：含硅基的类，如、二氯二氢硅、乙等。

2. 掺杂气体：含硼、磷、等三族及五族原子之气体，如三氯化硼、三、磷烷、烷等。

3. 蚀刻清洗气体：以含卤化物及卤碳化合物为主，如、三氟化氮、、四氟化碳、六等。

4. 反应气体：以碳系及氮系氧化物为主，如二氧化碳、氨、氧化亚氮等。

5. 金属气相沉积气体：含卤化金属及有机烷类金属，如六氟化钨、基等。

电子器件行业发展前景乐观  拉动特种气体需求增长

2011-2016年，我国电子器件制造行业平稳增长，到2016年市场规模达到16947.85亿元；根据前瞻产业研究院发布的《2018-2023年中国特种气体行业产销需求与投资预测分析报告》初步估算，2017年达到17897.59亿元。未来电子元器件正在向超微化、片式化、数字化、智能化、绿色化方向发展，由此可见，中国电子元器件行业发展前景乐观，将在一定程度拉动特种气体行业需求增长。

2011-2017年电子器件制造行业市场规模变化（单位：亿元，%）

电子气体的应用及类别！

自从半导体问世以来,高纯度电子气体的可靠供应在电子行业是至关重要的。首先通过不同的气体流把杂质原子引入到半导体材料来生产个别半导体元件,然后加以混合,再送进名为外延生长过程的反应容器中。

在制造集成电路的过程中,超过30种不同的电子气体被用于蚀刻\沉积\氧化\掺杂,和惰性保护的应用。现代晶片电路的严格要求规定,百万份\数十亿份甚至万亿份的水平的微量杂质将导致重大的缺陷,并由于高废品率导致成本增加。

一个典型的半导体生产厂的辅助设施提供包括以下几类电子气体：

?氮气通常利用分离空气在现场生产。它被广泛使用在许多过程中作为提供惰性环境或一个过程完成后的反应气体。

?氧气也可以在现场生产或以低温液体交付。它使用于把硅氧化-是所有半导体制造中关键的过程之一。

?***通常以低温液体交付，并用于为金属的溅射沉积提供惰性环境，因为氮气的反应性高而导致形成金属氮化物。

?氢气可以在现场生产、以低温液体或压缩气体交付-这取决于消耗速率。它是用于为金属膜进行退火时提供一种还原环境。