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发布时间:2021-11-19 19:16:00 作者:新桦气体
随着微电子工业的不断发展,特别是超大规模集成电路制造的晶圆尺寸不断增大,线宽尺寸从微米级进人到亚微米(小于1um)级以及深亚微米(小于0.18um)级,这样,对半导体制造工艺中的超净气体的品质要求越来越高,对这些气体中微粒、杂质及控制要求极为严格,已达到ppb、ppt级,尘埃粒径要求控制小于0.1um的微粒,因此对超净气体的输送管路系统的洁净度提出了非常高的要求。特种气体指出,工艺气体中的杂质对半导体制造的整个过程都有影响。如高温处理中,重金属微粒向硅的内部侵人扩散,诱发结晶缺陷,是导致半导体器件特性裂化的原因。腐蚀工序中,由于微粒附着在硅片处,将导致接触部分和周围的腐蚀加工精度降低。
热处理工序中,碱金属微粒使氧化膜与硅的界面特性产生异常,引起耐压性差或电气特性劣化。特种气体指出,由于一旦该气体输送管道发生污染,将很难通过吹扫清除污染物,往往是更换掉被污染的管路,由于该系统造价昂贵,这样造成的损失将很大,因此,超净气体管道系统洁净度的要求甚至比对其纯度的要求在某种程度上显得更为重要。
一。规范的制造方式
制造方式也关系到二氧化碳钢瓶的平安性性。 在制造技术方面,所有的二氧化碳钢瓶必须利用固态钢材拉制(Drawing)而成,或者是由无缝钢管制成。钢瓶的两端不能是利用焊接方法接上,而且在封瓶过程中也不得添加任何其他金属。因劣质钢瓶大多数都是焊接磨平再上漆,从外观上很难辩识,使大多数水族爱好者不明了它存在的危险性。
二、耐高压性
二氧化碳钢瓶瓶壁的厚度是决定钢瓶是否能耐高压的关键所在,其厚度需使钢瓶所能承受的压力可适合在任何情况下使用。尤其是铝合金制作的二氧化碳钢瓶,因材质较软,除非钢瓶瓶壁的厚度超过1公分以上,否则会有平安性上的顾虑。
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