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发布时间:2021-11-23 00:04:00 作者:新桦气体
特种气体在LED中的应用
特种气体是光电子、微电子等领域,特别是在超大的规模集成电路、液晶显示器件、非晶硅薄膜太阳能电池、半导体发光器件和半导体材料制造过程不可缺少的基硅性支撑源材料。它的纯度和洁净度直接影响到光电子、微电子元器件的质量、集成度、特定技术指标和成品率,并且从根本上制约着电路和器件的性和准确性。
半导体工业用气体品种多、质量要求高、用量少,大部分是有毒或腐蚀性气体。品种高达百余种。半导体工业特种气体应用分类,主要包括:
1. 硅族气体:含硅基的类,如、二氯二氢硅、乙等。
2. 掺杂气体:含硼、磷、等三族及五族原子之气体,如三氯化硼、三、磷烷、烷等。
3. 蚀刻清洗气体:以含卤化物及卤碳化合物为主,如、三氟化氮、、四氟化碳、六等。
4. 反应气体:以碳系及氮系氧化物为主,如二氧化碳、氨、氧化亚氮等。
5. 金属气相沉积气体:含卤化金属及有机烷类金属,如六氟化钨、基等。
高纯气体必须满足两个条件
1、主体成分含量必须大于某一定值。
2、各杂质组分含量必须小于某一定值。
电子工业用气、仪器仪表校准用的零点气、标准气配制用气、色谱载气等均需满足以上要求, 可列为高纯气体。
高纯气体的纯度= 主体成分含量= 1-∑ 杂质含量。事实上, 用实验方法直接准确测定高纯气体中主体成分含量是非常困难的。既使象二氧化碳这类产品, 可以通过规定的方法, 直接测定得到“纯度值”, 但该值也包含有水分、酸性气体及其它与强碱作用的成分。所以说, 该“纯度”也并非理论意义上的气体纯度。
而另外一种通过测定气体中所含有的所有杂质成分, 计算求得气体纯度的方法, 同样难以实现。
那么, 目前市场上高纯气体产品的“纯度”含义又是什么呢? 小编认为, 所谓高纯气体纯度是通过规定方法直接测得或扣除规定杂质计算求得的浓度值。这种规定是生产者和用户依据生产过程和使用目的共同协商的结果。
评价高纯气体的质量, 除进行“纯度”指标评价外, 还需依据标准对规定杂质进行逐一核对。任何一项超出规定的要求, 都不能称之为合格品。
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